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硅粉氮化爐
高端氮化硅粉體燒結(jié)爐具有H2安全保護(hù)、防竄氣技術(shù) 、多段溫度曲線設(shè)定，多種氣體流量自動(dòng)精準(zhǔn)控制（無需人工調(diào)節(jié)）、脈沖式充氣、氣體循環(huán)控溫、發(fā)熱體衰減檢測(cè)、發(fā)熱體漏電監(jiān)測(cè)、全面故障自診斷等功能。主要用于高端氮化硅粉料的生產(chǎn)。
氮化硅氣氛壓力燒結(jié)爐
非接觸式高溫測(cè)量設(shè)計(jì)、具有真空系統(tǒng)過濾保護(hù)與獨(dú)特的脫蠟系統(tǒng)及尾氣處理設(shè)計(jì)。應(yīng)用氮化硅等非金屬陶瓷材料進(jìn)行脫成型劑、氣壓燒結(jié)、產(chǎn)品致密化等。
陶瓷基片爐
陶瓷基片爐具有高穩(wěn)定性、高人性化、低維護(hù)的特點(diǎn)，采用非接觸式高溫測(cè)量、真空系統(tǒng)過濾保護(hù)、獨(dú)特尾氣處理設(shè)計(jì)。主要用于氮化硅/氮化鋁流延基片等先進(jìn)材料進(jìn)行真空，脫氣、加壓致密化等，廣泛應(yīng)用于航天航空、電子電器半導(dǎo)體等領(lǐng)域。
碳化硅重結(jié)晶燒結(jié)爐
碳化硅陶瓷制品重結(jié)晶燒結(jié)，同時(shí)還可兼容無壓燒結(jié)以及反應(yīng)燒結(jié)，為您的生產(chǎn)提供更多可能，滿足不同工藝需求。
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